產(chǎn)品特?
? 亞納?級運(yùn)動相應(yīng)；
? ?速相應(yīng) 10 kHz；
? 最??程40 um ，兼容多場光束穩(wěn)定產(chǎn)品BeamStablizer；
? 控制器兼容多場科技 Motion Controller - Archimedes Series
? 超?真空兼容，?磁場兼

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