“16mm 系列"— Linear16-z (閉環(huán)控制) 低溫 · 壓電運動- 線性位移系列
最?的線性位移臺，?持閉環(huán)控制

.HV  ?真空版本，默認(rèn)產(chǎn)品;

.ULT 超低溫版本, 兼容氦-3制冷系統(tǒng) & 稀釋制冷機(jī)

.UHV 超?真空版本, 最?兼容 2E-11 mbar

1     三維尺?

16 × 16 mm × 16 mm

2    質(zhì)量

12 g

適?環(huán)境范圍

3    基礎(chǔ)

溫度范圍: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最?磁場: 18 Tesla

4    可選1 - 30 mK

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?

5    可選2 - 2e-11 mbar

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材質(zhì)

6    主體

Pure Ti

BeCu

Pure Ti

BeCu

7    線纜

磷?銅雙絞線，20cm

8    針腳材質(zhì)

聚酯材料（玻璃纖維填充）, BeCu

Peek, BeCu

9    針腳數(shù)量

驅(qū)動 - 2 pins, 傳感 - 3 pins

運動參數(shù)

10   ?程

3 mm

11   最?運動速度 @300 K

~ 2 mm/s

12   驅(qū)動電壓

Max. 200 V

13   最?負(fù)載

250 g

14   最?推?

3 N

傳感器（閉環(huán)）

15   位置傳感器

、

16   傳感器?程

3 mm

17   傳感器分辨率

~ 150 nm

18   重復(fù)定位精度

1 - 2 um