室溫 ·壓電運動?案 —“Carrier. 系列“ ??程載物臺 — 精密光學，半導體表征

.NM     絕對?磁版本；

.HV，     ?真空版本 ;

.UHV ，超?真空版本；

1        運動?向

X   Y

2        外形尺?

250 mm × 200 mm × 30 mm

3        必須安裝空間

325 mm × 250 mm

4        有效穿孔

85 mm × 65 mm

5        主體材料

鋁合?

6        線纜 & 接頭

標準屏蔽線纜

DSub9 接頭

kapton漆包線，

PEEK-2mm插針

7        ?作溫度

10 – 40 °C

運動參數(shù)-空間推薦安裝形式 I.  (下列性質(zhì)均在推薦安裝形式下測得)

8        運動?程

75 mm × 50 mm

9        最?速度

~ 20 mm/s

10       最?步伐

~ 30 nm

11       驅(qū)動頻率

Max. 20 kHz   (超安靜運動)

12       最?負載

2 kg

13       全?程俯仰/偏擺

0.8 mrad

傳感精度

14       位置傳感類型

- 電阻型傳感( .R )

- 光柵尺傳感( .O )

75 mm × 50 mm

15       位置傳感量程

- 電阻型傳感( .R )，   100-200 nm

- 光柵尺傳感( .O )，   10 nm，   1nm可選(默認 10nm)

16       位置傳感分辨率