? 超安靜運動， 20 kHz驅(qū)動頻率
? 65 mm &#215; 65 mm &#215; 12 mm極緊湊外形設(shè)計
? 閉環(huán)控制 &#183; 位置傳感?持電阻型(.R) 和光學(xué)型(.O

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更新時間：2025-04-02

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“16mm 系列"— Linear16-x (閉環(huán)控制)

低溫 · 壓電運動- 線性位移系列

最?的線性位移臺，?持閉環(huán)控制

線性位移臺Linear16-x 主要特征

• 緊湊設(shè)計, 尺? : 16*16*10.5 mm

• 超?真空 & 超低溫兼容: 2 E- 11 mbar & 30 mK

• ?磁材料(純 Ti & BeCu)，最?兼容 18 Tesla 磁場

• 超?負載 & 超?推? : 50 g & 1.5 N

• ??程 : 3 mm

• 閉環(huán)控制，內(nèi)置位置傳感器，最?位置分辨率 0.1 um

?維尺?

*所有數(shù)據(jù)均通過50歐姆線纜測量. 雖然對導(dǎo)線的電導(dǎo)率沒有要求，但我們建議電阻低于50歐姆。

可選版本 ?	.HV (默認)		.ULT	.UHV	.ULT.UHV
		.HV ?真空版本，默認產(chǎn)品; .ULT 超低溫版本, 兼容氦-3制冷系統(tǒng) & 稀釋制冷機 .UHV 超?真空版本, 最?兼容 2E-11 mbar
1 三維尺?		16 × 16 mm × 10.5 mm
2 質(zhì)量		10 g
適?環(huán)境范圍
3 基礎(chǔ)參數(shù)		溫度范圍: 1.4 ~ 400 K 最di真空度: 2e-7 mbar 最?磁場: 18 Tesla
4 可選1 - 30 mK			?		?
5 可選2 - 2e-11 mbar				?	?
材質(zhì)
6 主體		Pure Ti	BeCu	Pure Ti	BeCu
7 線纜		磷?銅雙絞線，20cm
8 針腳材質(zhì)		聚酯材料（玻璃纖維填充）, BeCu		Peek, BeCu
9 針腳數(shù)量		驅(qū)動 - 2 pins, 傳感 - 3 pins
運動參數(shù)
10 ?程		3 mm
11 最?運動速度 @300 K		~ 2 mm/s
12 驅(qū)動電壓		Max. 200 V
13 最?負載		50 g
14 最?推?		1.5 N
傳感器（閉環(huán)）
15 位置傳感器		電阻傳感
16 傳感器?程		3 mm
17 傳感器分辨率		~ 150 nm
18 重復(fù)定位精度		1 - 2 um