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                產(chǎn)品中心
                
    
                
    
                
      
                當(dāng)前位置：首頁  -  產(chǎn)品中心  -  光機產(chǎn)品  -  光學(xué)平臺
                
    
                
     
                
  
                

                




                
	
                
    	
                
        	
                                
                
                
                    
                    
                
                    
                    
                
                
                
                
                
                    
                
                        
                                          
                            
							
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                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
                
            
                
            	產(chǎn)品簡介
                
                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列，可以在真空環(huán)境下使用的主動隔振平臺、能更好適配真空實驗場景。
                
            
                
            
                
            	
                
                	
                產(chǎn)品型號：
                
                    
                更新時間：2025-07-02
                
                    
                廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
                
                    
                訪問量：1366
                
                    
                
                
                
            
                
            
        
                
        
                
    
                
    
    
                
    	
        
                
        	
                
            	
                詳細介紹在線留言
                
                
                
                
                     
                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
                特點
                • 空氣彈簧支撐，磁負剛度機構(gòu)
                • 機械式倒立擺負剛度機構(gòu)并聯(lián)正剛度機構(gòu)
                • 適用1E-4Pa的真空環(huán)境
                • 6自由度主動隔振
                • 主動隔振帶寬低至0.5Hz起
                • 標(biāo)品負載最大支持7000KG
                • 水平向電機峰值推力高達160N
                • 總體規(guī)格（長、寬、高）多種規(guī)格可選
                • 核心控制系統(tǒng)全部自研
                • 核心部件國產(chǎn)化
                技術(shù)指標(biāo)
                • 主動隔振帶寬：0.5-150Hz
                • 臺面穩(wěn)定性：≤±5um
                • 傳遞率：≤-20dB@2Hz，≤-35dB@5Hz，≤-50dB@10Hz
                • 水平向電機峰值推力高達270N
                • 系統(tǒng)支持最大功率400W
                • 臺面平面度：NTBP：0.02-0.05mm/600mm ×600mm
                                      NTBK：0.1mm/600mm×600mm
                                      大理石臺面：0級、1級、2級、3級可選（GB/T20428-2006）
                • 臺面厚度：100/200/300mm
                • 孔徑：可定制孔徑
                • 孔距：可定制孔距或特殊位置打孔
                • 標(biāo)品單腿最大承載能力：1800Kg
                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列命名規(guī)則
                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
                選型表：（M、K、P參考具體臺面信息）
                產(chǎn)品型號
                整體規(guī)格（L*W：mm）
                臺面上負載要求（kg）
                臺面厚度（mm）
                隔振器規(guī)格
                (L*W*H:mm)
                單腿重量
                ZVI-VB-30-15M
                3000×1500
                100-2000
                400
                1060×900×202
                40kg
                尺寸圖：
                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
                型號
                尺寸（ mm）
                L
                W
                T
                H1
                H2
                ZVI-VB-30-15M
                3000
                1500
                400
                900
                500
                相關(guān)案例：
                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
                • 光刻機：確保光刻膠的精確涂布和曝光。
                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
                • 刻蝕設(shè)備：在納米精度上進行精確加工，確保芯片電路的完整性。
                真空主動隔振平臺ZVI-VB系列
                
                
                
            
                
            
                
            
            
            
                

            
                
                
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                  產(chǎn)品：
                  
			
                  
		
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                  補充說明：
                  
			
                  
		
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                  驗證碼：
                  
			
                  
            	
                  
                    
                    
                
                  
                請輸入計算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7
            
                  
		
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                在線服務(wù)熱線
                13810146393
                
          
                
          
                
               
               
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                技術(shù)支持：化工儀器網(wǎng)    sitemap.xml
                
         
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