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卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu),直線電機(jī)驅(qū)動的直線滑臺。具有高穩(wěn)定度、高分辨率,精密位移,大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu),工作過程沒有摩擦, 無灰塵產(chǎn)生,沒有爬行現(xiàn)象。產(chǎn)品尺寸較多,可以根據(jù)需要靈活選擇,該系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。
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