卓立-氣浮導(dǎo)軌滑臺(tái)QF系列是采用的靜壓氣浮導(dǎo)軌作為保持機(jī)構(gòu)，直線電機(jī)驅(qū)動(dòng)的直線滑臺(tái)。具有高穩(wěn)定度、高分辨率，精密位移，大負(fù)載的功能。采用氣浮導(dǎo)軌為保持機(jī)構(gòu)，工作過程沒有摩擦， 無灰塵產(chǎn)生，沒有爬行現(xiàn)象。產(chǎn)品尺寸較多，可以根據(jù)需要靈活選擇，該系列產(chǎn)品適合用于半導(dǎo)體行業(yè)或其他對于精密位移亞微米級調(diào)整有需求的客戶。

25  臺(tái)面寬度：

25:250mm 30:300mm

300   有效行程：

100:100mm 200:200mm

300:300mm

S      基座材質(zhì)：

A:鋁合金

S:大理石

C:碳化硅

B    分辨率：

1:0.1 μm S:50nm

B:20nm

N    電機(jī)類型：

N:無鐵芯

M:有鐵芯

A    臺(tái)面材質(zhì)：

A:鋁合金

T:其它

臺(tái)面尺寸(mm)

245x200(運(yùn)動(dòng)方向)

厚度(mm)

120

移動(dòng)量(mm)

100

200

300

400

光柵尺分辨率(nm)

20

驅(qū)動(dòng)方式

無鐵芯直線電機(jī)

導(dǎo)軌

一體式靜壓導(dǎo)軌

雙向重復(fù)精度(μm)

0.4

無*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

2.5

3

3

俯仰(arcsec)

4.5

偏擺(arcsec)

2.1

主體材料及表面處理

鋁合金，黑色硬質(zhì)陽極氧化處理

中心負(fù)載(Kg)

10/μm

臺(tái)面尺寸(mm)

290x200(運(yùn)動(dòng)方向)

厚度(mm)

189

移動(dòng)量(mm)

400

500

600

800

光柵尺分辨率(nm)

20

驅(qū)動(dòng)方式

無鐵芯直線電機(jī)

導(dǎo)軌

氣浮腳式靜壓導(dǎo)軌

雙向重復(fù)精度(um)

0.3

無*正定位精度(μm)

1.2

直線度(μm)

2

3

5

5

俯仰(arcsec)

2

偏擺(arcsec)

2

主體材料及表面處理

大理石，鋁合金

中心負(fù)載(Kg)

15/um

材質(zhì)

鋁合金

大理石

碳化硅陶瓷

導(dǎo)軌長度(mm)

200~800

400~3000

400~2000

外形尺寸(mm)

超小~中

中~超大

小、中、大

制作方式

機(jī)加工

磨削

燒制

重復(fù)精度(μm)

0.3

0.3

0.25

直線度(μm)

1~3

2~5

2~3

組合形式

X, XY(小)

X、XY、龍門

X、XY、龍門

造價(jià)(元)

1~10

5~100

50~1000